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IoN 40是我们在真空等离子体技术领域的最新进展。气体等离子体依靠其多功能性、绿色环保，正在迅速成为生命科学、电子和工业领域中对材料表面进行改性的首选技术。例如，医疗诊断设备的微型化趋势要求精密清洁和选择性化学功能化的表面。等离子体去除有机污染的效果比湿化学法要高几个数量级，而且可以在纳米级别内使表面化学功能化。因此，等离子技术正在取代不再经济或不再实用的传统处理方法。
先进的功能特性： • 完全可配置的腔室可使用各种不同的电极构造，适用于中等尺寸的结构复杂的3维工件或大批量的小工件处理 • 使用Windows系统的工业计算机 • 符合CFR(美国联邦法规)第21章第11部分和Semi E95-1101的图形用户界面（GUI） • 单独的用户软件访问权限：操作者、工艺编写、维护 • 自定义的工艺误差控制保证了精确的批次可重复性 • 通过以太网进行远程统计过程控制监测 • 机载诊断功能和报警记录 • 工艺编辑软件提供了快速灵活的步骤控制功能 • 液晶触摸屏显示器（LCD）和键盘
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技术参数
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