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AP-1000等离子系统使用13.56MHz的等离子发生器,能够使用氢气、氩气、氮气等多种工艺气体。此系统工程产生统一的等离子体,具有优良的可靠性、安全性、易操作性。
应用领域 光电器件、微波器件、混合电路、MEMS、RF模块、功率器伯、传感器、LED、纳米器件、声表器件、半导体器件等。
主要特性 触摸屏PLC控制、提供形象的界面和实时过程显示,数据实时可调可控
四种清洗模式:强洗、弱洗、无电子清洗、去胶
能够用来清洗敏感、易碎的器件 专利的控制软件系统可统计工艺过程和产品的相关数据 双重真空吸尘、强力清洗、铝制清洗室,免污染 内部支架能够灵活配置
主要参数
其他型号:AP-100 AP-600